Мета: полягає в тому, щоб на основі системного вивчення загальних основ метрології, метрологічних норм і правил та засобів вимірювальної техніки студенти накопичили знання та набули практичні навички із вимірювання параметрів напівпровідникових матеріалів; методів обробки результатів прямих і непрямих вимірювань з інформаційною оцінкою процесу вимірювань; послідовності виконання метрологічних операцій.

В результаті вивчення навчальної дисципліни студенти повинні

знати:

– терміни та визначення в галузі метрології;

– одиниці фізичних величин;

– способи вираження та форми подання результатів та характеристики точності вимірювань;

– державні еталони, робочі еталони та зразкові ЗВТ;

– методи та засоби метрологічної перевірки, калібрування, випробувань та метрологічної атестації ЗВТ;

– норми точності вимірювань;

– методики виконання вимірювань;

– методики оцінки вірогідності та форми подання даних про властивості речовин та матеріалів, вимоги до проведення експертизи, а також атестації цих даних;

– методи вимірювання параметрів напівпровідникових матеріалів;

вміти:

–  реалізувати метод вимірювання з використанням елементарних операцій та елементарних засобів вимірювання;

– класифікувати похибки та знати їх властивості;

– розраховувати погрішності вимірювань;

– правильно інтерпретувати та представляти результати вимірювань;

– визначати електропровідність напівпровідникових матеріалів зондовими методами;

– визначати параметри напівпровідників за допомогою вимірювання ЕРС Холлу;

– вимірювати товщини епітаксіальних шарів і тонких плівок.

Викладач дисципліни: Бабіч Андрій Вікторович, канд. фіз.-матем. наук, доцент кафедри мікро- та наноелектроніки